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Incorporation d’azote et stabilité des polytypes lors de la croissance en phase gazeuse de monocristaux de SiC /

Mardi 6 janvier 2015 10:00 - Duree : 2 heures
Lieu : Amphi M001, PHELMA, Bât. INP, Minatec

Orateur : Soutenance de Thèse de Nikolaos TSAVDARIS

Le carbure de silicium est l’un des semi-conducteurs les plus importants et les plus répandus dans les appareils électroniques de puissance. Du fait de la demande croissante d’électronique à haut rendement, bas coût et économe en énergie, il est nécessaire d’améliorer les propriétés des semi-conducteurs monocristallins. Cela demande une meilleure compréhension des phénomènes impliqués dans le procédé de croissance de ces matériaux. Cette thèse présentera de nouvelles perspectives sur deux sujets majeurs dans le domaine de la croissance en phase gazeuse de monocristaux de SiC. Dans un premier temps, le procédé de croissance utilisé dans notre laboratoire a été développé dans le but d’améliorer la qualité et la taille des cristaux de SiC obtenus. Une géométrie permettant la croissance sans contact et reproductible de monocristaux de SiC a été obtenue. La nucléation et la propagation des instabilités structurelles (inclusions de polytype étranger) apparaissant lors de la croissance ont été étudiés de façon continue. Deux critères spécifiques doivent être réunis pour qu’un polytype étranger puisse nucléer. Une fois le point de nucléation localisé, la propagation du polytype étranger dans le volume du cristal peut être appréhendée. Lorsque la stabilisation et déstabilisation des polytypes de SiC ont été mieux comprises, une tentative a été faite pour stabiliser la croissance du polytype 15R-SiC. L’objectif final, les paramètres de croissance susceptibles de renforcer la croissance préférentielle de 15R-SiC, a été mis en évidence.

Enfin, l’incorporation d’azote pendant la croissance en phase gazeuse de monocristaux a été étudiée. En effet, aucune description détaillée n’existe pour l’incorporation d’azote dans le SiC, bien que ce soit le dopant le plus couramment utilisé. Notre contribution à cet effort porte sur l’étude de la concentration d’azote dans les cristaux obtenus en fonction de différents paramètres de croissance. Compte tenu des mécanismes d’adsorption/désorption à la surface de croissance, un effort a été fait pour expliquer les tendances obtenues expérimentalement.

Contact : didier.chaussende@grenoble-inp.fr

Discipline évènement : (Physique)
Entité organisatrice : (LMGP)
Nature évènement : (Soutenance de thèse)
Site de l'évènement : Site Minatec

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