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Functional oxides for integration in micro - and nano-electronics

Dimanche 7 avril 2013 17:00 - Duree : 3 jours20 heures 15 minutes
Lieu : Autrans, Résidence de l’Escandille

Orateur : D. Thomas, F. Fompeyrine, B. Gautier, A. Masseuboeuf, S. Barraud, V. Narayanan, R. Waser, Ch. Walczyk, F. Alibart, J. Grollier, L. Liétar, M. Guilloux-Viry, A. Gruverman, J.-M. Triscone

Ce Workshop s’adresse à tous les spécialistes des oxydes pour des applications en micro/nanoélectronique et aux industriels de marchés émergents qui les utilisent. Les oxydes à forte permittivité sont maintenant présents dans les circuits CMOS et le seront encore dans les futures générations dites “thin body” planaires (comme le Fully Depleted SOI) ou verticales (comme le FinFET). Ce développement va aussi profiter à des applications complémentaires et/ou différenciées comme les nouveaux types de mémoires non volatiles ou les structures à capacité élevée. En parallèle, les oxydes binaires et complexes ouvrent également des champs nouveaux d’applications dans le domaine des micro/nanotechnologies pour l’intégration de fonctionnalités variées. L’émergence de ces nouveaux oxydes en nanoélectronique est fortement liée au développement des procédés ainsi qu’à celui de techniques de caractérisations avancées qui permettent la compréhension des mécanismes physiques et physico-chimiques mis en jeu. L’objectif de ce Workshop est de faire le point sur les oxydes fonctionnels pour la nanoélectronique, de rassembler la communauté française des scientifiques de diverses disciplines (chimistes, physiciens, électroniciens, théoriciens, nano-technologistes) et de faire le lien avec les industriels concernés par ces matériaux. Une session sera notamment dédiée à la présentation de start-up qui développent et industrialisent des produits utilisant des concepts avancés à base d’oxydes fonctionnels. La langue du Workshop sera l’anglais (orateurs internationaux)

Renseignements programme et inscription à : oxyde2013@ec-lyon.fr

Discipline évènement : (Physique)
Entité organisatrice : (CNRS-INL/STMicroelectronics Crolles)
Nature évènement : (Grand public) -
Nature évènement : (Workshop / Symposium)

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