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Exploring semiconductor nanostructures using a hard X-ray nanoprobe

Lundi 17 juin 2013 10:30 - Duree : 1 heure
Lieu : Room 337, Central Building, ESRF - 6 Rue Jules Horowitz - Grenoble

Orateur : Jaime SEGURA-RUIZ (ESRF)

New semiconductor devices rely on micro- and nanometer-sized materials and small embedded domains with weak signals and heterogeneous nature. As a result, the study of such structures calls for analytical tools that provide low detection limits and high spatial resolution. Owing to the intense X-ray beams with a micro/nanometric size, third generation synchrotron radiation micro/nanoprobes offer unique instruments that fulfill these requirements. In this presentation I will show some examples on the use of a hard X-ray nanoprobe to investigate technological relevant phenomena in semiconductor nanowires. Based on a multimodal approach, the combination of X-ray fluorescence, X-ray diffraction and X-ray absorption spectroscopy techniques shows information on impurity content, phase separation, cluster formation, residual strains as well as short- and large-range order effects. In addition, the linear polarization of the X-ray beam made our studies more selective, and capable of detecting preferentially-oriented defects. To close, further research opportunities offered by the beamline ID21 in the energy range between 2 to 9 keV will be briefly discussed. Within the microspectroscopy domain, ID21 potentialities for traces elemental analysis, chemical state characterization and recent structural probes are ideal to enlarge the knowledge of the underlying mechanisms of microelectronic devices.

Contact : marine.cotte@esrf.fr

Discipline évènement : (Physique)
Entité organisatrice : (ESRF)
Nature évènement : (Séminaire)
Evènement répétitif : (Séminaire ESRF)
Site de l'évènement : Polygone scientifique

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