Silicon nanoresonators : non-linear dynamics, spectral broadening and applications

Orateur : Sébastien HENTZ (CEA-Leti)

Aujourd’hui les nanotubes de carbone, les matériaux 2D et les matériaux à ultra-haut facteur de qualité constituent des vecteurs d’observation privilégiés de certains comportements non-linéaires ou d’élargissement spectral d’origines diverses. L’observation de ces phénomènes, pilotés notamment par des contraintes internes élevées, est permise par l’extrême sensibilité de ces dispositifs. Le groupe NEMS du LETI développe des nanorésonateurs silicium VLSI pour différentes applications de détection, notamment de gaz ou de masse. De par leur matériau constitutif et les procédés utilisés, ils sont d’une excellente répétabilité et qualité mécanique. Nous verrons qu’ils constituent cependant d’excellents moyens d’observation de phénomènes non-linéaires inédits ou de fluctuations de fréquence de très grande magnitude. Il est paradoxalement nécessaire de mettre en place des techniques spécifiques pour les mettre en évidence, et nous discuterons de leur importance dans les applications visées.

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