SPECTROMÉTRIE DE MASSE DES IONS SECONDAIRES ET ANALYSE 3D DE COMPOSITION DES MATÉRIAUX A L’ECHELLE NANOMÉTRIQUE
Vendredi 21 juin 2019 12:30
- Duree : 45 minutes
Lieu : Grenoble INP - Phelma, 3 parvis Louis Néel - 38000 Grenoble
Orateur : Jean-Paul BARNES (Ingénieur Chercheur et Expert Senior du CEA-LETI)
La spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS) permet d’analyser la composition des matériaux avec une sensibilité remarquable (ppm voire ppb) y compris en termes de répartition isotopique. L’utilisation de spectromètres de masse à temps de vol (TOF-SIMS) a élargi le nombre d’éléments simultanément analysés à l’ensemble du tableau périodique, voire à des fragments moléculaires. Les progrès réguliers de l’instrumentation en font une technique de caractérisation majeure bien adaptée aux besoins des micro- et nanotechnologies. Les évolutions récentes ouvrent des perspectives intéressantes pour l’analyse en 3D en s’appuyant sur des techniques de nanocaractérisation complémentaires comme la microscopie électronique en transmission, la microscopie en champ proche, la tomographie à rayons X et la spectroscopie de photoélectrons.
Inscription obligatoire avant le 19 juin 2019 : http://www.minatec.org/midis
Contact : midis-minatec@inviteo.fr
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