Conception et étude de dispositifs électriques à base de réseaux aléatoires de nanofils de ZnO pour application biocapteurs

Orateur : Soutenance de Thèse de Fanny MORISOT

Les nanofils sont des structures combinant dimensions nanométriques, leur diamètre, et dimension micrométrique, leur longueur, à des propriétés intéressantes pour de nombreux domaines telles que l’électronique, l’optique et la détection de molécules. Cependant, en raison de leur petite taille, ils sont difficiles à manipuler ce qui rend leur intégration au sein de dispositifs complexe et coûteuse. Une solution de contournement à ce problème est de les assembler de sorte à former un réseau de nanofils aléatoirement orientés, aussi appelé nanonet, et qui présente alors une dimension macroscopique. Dans ce travail, nous utilisons comme support de recherche les nanofils d’oxyde de zinc assemblés en nanonets que nous avons intégrés avec succès pour trois applications : les transistors à effet de champ, la détection d’ADN et la détection d’acétone. Nous présentons tout d’abord toute la chaîne de fabrication des dispositifs comprenant la synthèse des nanofils, leur assemblage en nanonet et l’intégration de ces derniers dans des dispositifs selon deux voies totalement différentes. D’une part, nous avons développé l’intégration directe sur des microplateformes chauffantes porteuses d’électrodes, réalisées par un partenaire industriel, pour l’utilisation en tant que capteur de gaz. D’autre part, nous avons mis au point une filière de fabrication complète, qui a été développée et testée au cours de ce travail, pour les transistors à effet de champ. Nous abordons ensuite les performances des différents dispositifs développés. Les transistors à effet de champ que nous avons fabriqués présentent des performances remarquables encore jamais obtenues dans la littérature pour des dispositifs similaires. Ensuite, nous avons pu détecter avec succès l’ADN par fluorescence et mis en évidence l’effet de la densité du nanonet sur cette détection. Enfin, la détection d’acétone sous forme gazeuse a été réalisée sur une large gamme de conditions allant d’une atmosphère sèche à température ambiante jusqu’à une atmosphère très humide à 360°C. Ainsi, ce travail démontre que les nanonets de ZnO présentent des propriétés intéressantes qui offrent des perspectives d’applications dans des domaines aussi variés que l’électronique ou la détection de molécules chimiques ou biologiques.

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